NSRC, 대만 반도체 기업에 노광장비 공급

110만달러 규모 i-line 리퍼비시 장비 수주…중국 기술용역 계약 이어 해외 사업 확대



에이루트의 반도체 장비 전문 자회사 앤에스알시(NSRC)가 중국 반도체 기업과의 기술용역 계약에 이어 대만에서 노광장비를 추가 수주했다. 해외 중소형 반도체 생산공장을 중심으로 리퍼비시 장비 수요가 늘어나는 가운데 수주 기반을 넓혀가고 있다.

앤에스알시는 대만 반도체 생산공장(팹)에 공급할 110만달러 규모의 i-line(아이라인) 리퍼비시 노광장비를 수주했다고 15일 밝혔다.

이번 수주에 따라 앤에스알시는 자체 기술을 활용해 장비를 고도화하고, 현지 고객사의 생산라인에 맞춰 공급할 예정이다. 해당 장비는 반도체 웨이퍼에 회로 패턴을 형성하는 노광 공정에 사용되며 다양한 반도체 생산라인에 적용할 수 있다.

앞서 앤에스알시는 최근 중국 반도체 기업과 140만달러 규모의 미세공정용 고해상도 노광장비 관련 기술용역 계약을 체결했다.

최근 대만과 중국의 중소형 팹을 중심으로 리퍼비시 노광장비 수요가 늘면서 앤에스알시의 해외 수주도 확대되고 있다. 리퍼비시 장비는 신규 장비보다 도입 기간과 비용을 줄일 수 있으며, i-line 장비는 생산라인 증설이나 공정 전환을 추진하는 중소형 팹에서 활용되고 있다는 설명이다.

앤에스알시 관계자는 “지난해 대만 기업에서 수주한 리퍼비시 노광장비를 최근 납품하면서 확보한 신뢰가 추가 수주로 이어졌다”며 “기존 납품 실적과 기술력을 기반으로 해외 영업을 확대하고 있다”고 말했다.

이어 “최근 대만 기업에 295만달러 규모의 리퍼비시 노광장비를 납품한 데 이어 이번 수주 장비도 연내 공급할 예정”이라며 “현재 여러 국가의 반도체 기업과 추가 장비 공급을 논의하고 있다”고 덧붙였다.


노만영 기자 myblue26@dealsite.co.kr